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真空的獲得方法 人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數(shù)目不斷減少的設(shè)備稱為真空獲得設(shè)備或真空泵。目前在真空技術(shù)中，采用各種不同的方法，已經(jīng)能夠獲得和測量從大氣壓力105Pa到10-13Pa，寬達(dá)18個數(shù)量級的壓力範(fàn)圍。顯然，只用壹種真空泵，獲得這樣寬的低壓空間的氣體狀態(tài)，是十分困難的。 在真空獲得技術(shù)中，目前用以獲得真空的技術(shù)方法有兩種，壹種是通過某此機(jī)構(gòu)的運(yùn)動把氣體直接從密閉容器中排出；另壹種是通過物理、化學(xué)等方法將氣體分子吸附或冷凝在低溫表面上。 真空泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù) 由於各種真空泵的性能除均能滿足對容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外，尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)是十分重要的，泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方面 1）在系統(tǒng)中做主泵 所謂主泵就是對真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。 2）粗抽泵 粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另壹抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。 3）前級泵 前級泵是指用於使另壹個泵的前級壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級壓強(qiáng)以下的真空泵。 4）維持泵 維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配壹種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。 5）粗真空泵或低真空泵 粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強(qiáng)後工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)範(fàn)圍內(nèi)的真空泵。 6）高真空泵 高真空泵是指在高真空範(fàn)圍工作的真空泵。 7）超高真空泵 超高真空泵是指在超高真空範(fàn)圍工作的真空泵。 8）增壓泵 增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)範(fàn)圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。 真空泵型號及規(guī)格的表示方法 根據(jù)中華人民共和國機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T7673-95的規(guī)定，國產(chǎn)各種真空泵是由基本型號和輔助型兩部分組成，兩者中間為壹橫線。其表達(dá)型式為123—456。格中數(shù)字123表示基本型號，456表示輔助型號。 國產(chǎn)真空泵的型號通常以表3-2中的漢語拼音字母來表示。若在拼音字母前冠以“2”字，則表示泵在結(jié)構(gòu)上為雙級泵。 某些真空泵系列對其抽氣速率則以幾何級數(shù)來分檔。其單位是“L/S”。共分18個等級，分別為0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有時(shí)也可用泵的入口尺寸來表示，其單位是“mm”。由於泵的種類較多，選用時(shí)應(yīng)參閱不同生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品說明書式樣本，是很重要的。 表3-2 常用真空泵的漢語拼音代號及名稱
代 號 名 稱 W 往復(fù)真空泵 D 定片真空泵 X 旋片真空泵 H 羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵） YZ 余擺線真空泵 L 濺射離子泵 XD 單級多旋片式真空泵 F 分子泵 K 油擴(kuò)散真空泵 Z 油擴(kuò)散噴射泵（油增壓泵） S 升華泵 LF 復(fù)合式離子泵 GL 鋯鋁吸氣劑泵 DZ 制冷機(jī)低溫泵 DG 灌註式低溫泵 IF 分子篩吸附泵 SZ 水環(huán)泵 PS 水噴射泵 P 水蒸氣噴射泵
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